Оглавление

Классификация МЭТ 2

Проводниковые материалы 3

Физическая природа электропроводности металлов 4

Зависимость электропроводности металлов от температуры и примеры 5

Электрические свойства металлических сплавов 7

Сопротивление проводников на высоких частотах 8

Сопротивление тонких металлических плёнок. Размерный эффект 8

Контактные явления в металлах 9

Материалы высокой проводимости. Медь 10

Алюминий 11

Сверхпроводящие металлы и сплавы 12

Специальные сплавы 14

Сплавы для термопар 14

Сплавы для корпусов приборов 15

Тугоплавкие металлы 15

Благородные металлы 16

Припои 16

Неметаллические проводящие материалы 17

Полупроводники. Классификация полупроводниковых материалов 17

Собственные и примесные полупроводники 18

Подвижность носителей заряда в полупроводниках 20

Кремний 23

Физико-химические и электрические свойства Si 25

Марки кремния. 25

Германий 27

Физико-химические и электрические свойства германия 27

Карбид кремния (SiC) 28

Полупроводниковые соединения А^III В^V 29

Твердые растворы на основе АIII В^V 31

Полупроводниковые соединения A^IIB^VI и ТРЗ на их основе 32

Полупроводниковые соединения A^IVB^VI и ТРЗ на их основе 34

Диэлектрики, классификация, основные свойства 35

Электропроводность диэлектриков 38

Потери в диэлектриках 40

Пробой диэлектриков 41

Полимеры в электронной технике 43

Композиционные пластмассы и пластики 44

Электроизоляционные компаунды 45

Неорганические стекла 46

Ситаллы 47

Керамики 47

Активные диэлектрики 49

Сегнетоэлектрики 49

Пьезоэлектрики 51

Пироэлектрики 51

Электреты 51

Жидкие кристаллы 52

Материалы для твердотельных лазеров 53

Магнитные материалы. Их классификация 53

Магнитомягкие материалы 55

Магнитотвердые материалы 56

Технология получения материалов электронной техники 57

Методы получения тонких пленок 57

Вакуумные методы. Термическое вакуумное напыление. 58

Кинетика процесса конденсации. Роль подложки 62

Создание вакуума в вакуумных установках 62

Измерение вакуума 64

Вакуумные установки термического напыления 65

Катодное вакуумное распыление (диодное) 66

Ионно - плазменное распыление 67

Эпитаксиальные процессы в технологии материалов 68

электронной техники 68

Механизм процесса эпитаксии 69

Автоэпитаксия кремния 70

Гетероэпитаксия кремния 71

Эпитаксия полупроводниковых соединений А^IIIB^V 72

и ТРЗ на их основе 72

Температурно - временной режим эпитаксии 73

Эпитаксия SiC 74

Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев 74

Элионные технологии 75

Ионно-лучевые установки 76

Механическая обработка полупроводниковых материалов 76

Шлифование и полирование пластин 78

Химическая обработка поверхности полупроводника 79

Методы отчистки поверхности 82

Фотолитография (операции, материалы) 83

Нанотехнология, определения и понятия 85

Инструменты для измерения наноструктур 86

Наноструктуры и наноустройства 87

Методы нанотехнологий 88