Химическая обработка поверхности полупроводника
Используется для отчистки и стабилизации поверхности, контроля качества полупроводникового материала, профилирования поверхности, создание определенного рельефа поверхности.
Механизм травления имеет в своей основе окислительно-восстановительную реакцию с образованием растворимых комплексов полупроводника. Подчиняется законам химической кинетики.
В составе каждого травителя присутствует 2 компонента: окислитель и растворитель (комплексообразователь). Окислители минеральные кислоты (HNO3, H2SO4), пероксиды (H2O2, Na2O2), соли (K2Cr2O7, KMnO4, NaClO). Растворители HF, HCl, KOH, NaOH и др.
В состав травителей также могут входить замедлители (HAc и другие карбоновые кислоты – снижают степень диссоциации минеральных кислот) и ускорители (Br2, I2, HBr, HJ, KBr, NaJ – дополнительные активные окислители полупроводника), а также модификаторы вязкости (глицины, гликоли, ПАВы).
Травители для Ge
а) на основе H2O2 – являются интегральными. Их воздействие на полупроводник не зависит от типа кристаллографической плоскости.
Состав – водный раствор пергидроля (Н2О2). Н2О2 – является окислителем, Н2О – растворитель. Работает при нагревании. Кинетика подчиняется химическому механизму. Механизм травления:
Н2О2→ Н2О + О
Ge + О → GeO + O → GeO2
GeO2 + H2O → H2GeO2 (метогерманиевая кислота).
Скорость травления максимальна при [H2O2]=14%. При более высокой концентрации поверхность экранируется слоем Ge. Ускоряют процесс добавки HF или NaOH.
Травитель № 2. 1ч H2O2+ 1чHF+4ч H2O. При травлении образуется комплекс GeF2-. Это наиболее распространенное травление для поверхности [100].
Щелочно - пероксидный травитель (8ч NaOH + 100 мл 30% Н2О2). Работает при t=70°C. Травитель удобен для контролируемого удаления материала. Все пероксидные травители активны в свежеприготовленном состоянии.
б) травители на основе HNO3- HF обеспечивают получению интегрально гладких поверхностей. Травитель СР-4 (25 мл HNO3 + 15 мл HF+ 15 мл НАс +0,3 мл Br2). После приготовления выдерживается 30 минут для активизации. Время травления 60-80 с. Полирующий эффект различен для кристаллографических плоскостей. По скорости травления они располагаются в ряд υ110>υ100>υ111.
в) серебряный травитель. Наиболее распространен. Отличается селективностью (1ч HNO3+2ч HF+ 2ч 50% р-ра AgNO3). Селективность обеспечивается гальваническим действием ионов Ag+. Осаждающийся Ag удаляется промывкой в CN-растворах. υтреб~0,2÷0,4 мкм/с. (Замена Ag на Cu дает медный травитель).
г) иодные травители (А, В, С) «А» и «С» - полирующие «С» - (150ч HNO3 + 60чHF+ 120ч HAc +0,5ч J2) υтрав~0,3 мкм/с. «В» имеет υ≈0,04 мкм/с, его состав 125+25+110+0,5.
Травители для Si
А) Щелочной травитель (водный раствор КОН или NaOH 1-30%)
Температура травления 50-100°С, τраб1-5 мин.
Механизм процесса:
Si+2H2O→SiO2+2H2 – О-В стадия.
SiO2+х H2O→ SiO2·х H2O – гидратация.
SiO2·х H2O + 2KOH→K2SiO3+(x+1) H2O – растворение.
Окислитель - H2O, восстановитель – КОН.
Максимальная скорость травления в 1-1,5 М КОН при 100°С.
Недостатки: загрязнение поверхности щелочными металлами, рельеф поверхности не гладкий.
Б) травители на основе HF-HNO3
Максимальная скорость HNO3: HF=1:4,5 используется редко.
Разновидности травителей.
Марка | Состав | Назначение | Время травления |
СР-8 | HNO3-2 HF-1 | Хим полировка | 1 – 2 мин |
СЗ-4А | HNO3-5 HF-3 HAc-3 | Выявление границ p-n переходов | 2 – 3 мин |
Травитель Уайта | HNO3-3 HF-1 | Хим полировка пл [111] | 15 сек |
Травитель Дэша | HNO3-3 HF-1 HAc-8 | Медленная хим полировка | от 1 до 16 час |
Для повышения стабильности поверхностных свойств Si добавляют Na2Cr2O7 (HNO3-30мл, HF-20мл, + 1% раствора Na2Cr2O7- 1 мл). Изменяя концентрацию бихромата можно делать как зеркально-гладкую поверхность, так и шероховатую.
Травители для AIIIBV
- бром-метанольный (содержит от 5 до 20 об. % Br2 в метаноле (CH3OH)). Механизм полностью не установлен (Br образ с A(III) спирторастворимые бромиды, а с B(V) газообразные гидробромиды, бромоксиды и т.д.)
Травление сопровождается сильным газовыделением, поэтому Br2 вводят в травитель на каплям. Скорость зависит от [Br2]. Для полировки GaP особенно хорошие результаты дает травитель (3ч С2Н5ОН + 1ч Br2).
Для эпитаксиального слоя GaN, AlN, AlxGa1-xN используют горячие растворы H3PO4-H2SO4 (идеальной полировки не получается). Для установления дислокации и структурных нарушений используют селективные травители: HCl–HNO3-H2O; HF-H2O2-H2O; KOH-H2O; K3Fe(CN)6-KOH-H2O.
Травители для AIIBVI
HCl-H2O2-H2O, CrO3-HNO3-H2O.
Травители для SiC
Из-за высокой химической стойкости для травления используются расплавы КОН (NaOH) при температуре 900С. Бура (Na2B4O7) при температуре 800-1000°C; КОН-KNO3 при температуре 600-750°С. Время травления 2÷10 минут.
Травители для АIVВVI
HCl+H2O2+H2O; K3Fe(CN6)+H2O; Na3Cit-H2O
Электрохимическое травление
Наличие внешнего источника тока упрощает регулирование процесса травления. В качестве анода используют Ge, Si и др. полупроводники. Электролиты состоят из растворов KF – KCl, KF-HCl, KF-HNO3, HF-H2O. Высокое качество полировки поверхности Si получается, например, при электрохимическом травлении 10-15% раствором HF в одно или многоатомных спиртах (глицерин).
Возможна локализация электрохимического травления с помощью фотозонда. Генерация носителей в освещенном месте повышает скорость травления.
Парогазовое травление
Используют для Si, GaAs, GaP и др. Обеспечивается максимально достигаемая чистота поверхности; совместимо в одном растворе с другими процессами (эпитаксией, окислением). Реагенты F2, Cl2, Br2; HF, HCl, HBr, HJ, H2S, пары воды, фреоны. Эти реагенты в 1-5% массовой концентрации к H2, Ar, Ne, He выпускаются промышленностью в баллонах под давлением P=100÷150 атм., tобр=1123-1523 К.
Наиболее часто используется смесь HCl+H2.
При этом происходят реакции:
Si+2HCl→SiCl2↑+H2↑ -1500K
Si+H2O→SiO↑+H2 – 1500K
Si+H2S→SiS↑+H2↑ - 1500K
Скорость травления достигает 0,25 мкм/с
Травление 5% HCl в H2 при 1437К дает различные скорости травления граней υ[111] υ100 : υ100 = 1.48 : 3.0 : 3.4 мкм/мин.
Для травления GaAs используют HCl - H2O или H2O - H2 при 1000°К. Продукты травления GaCl, AsCl3 или Ga2O, As2O3,As4 - летучи.
Поверхность лейкосапфира травится в потоке H2 при 1800К. Необходимо после механической обработки удалять слой толщиной 10-15мкм.
Al2O3+2H2→Al2O +2H2O
Иногда используется фреон – 22 (CCl2F2). Качество парогазового травления выше химического, но требуются высокие температуры. Температура может вызвать тепловую генерацию дефектов.
Ионно-плазменное травление – процесс контролируемого удаления материала под действием ионов низкотемпературной плазмы в среде инертных газов или активных газов. Обеспечивает получение субмикронных размеров профиля.
Плазменное травление имеет самое высокое разрешение, широкий диапазон скоростей 1,0-10 мм/с для самых различных материалов (Si, SiO2, Al2O3, Al и др.), не требует очистки поверхности после травления, легко автоматизируется. Недостаток – сложность технологического оборудования.
- Оглавление
- Классификация мэт
- Проводниковые материалы
- Физическая природа электропроводности металлов
- Зависимость электропроводности металлов от температуры и примеры
- Электрические свойства металлических сплавов
- Сопротивление проводников на высоких частотах
- Сопротивление тонких металлических плёнок. Размерный эффект
- Контактные явления в металлах
- Материалы высокой проводимости. Медь
- Алюминий
- Сверхпроводящие металлы и сплавы
- Специальные сплавы
- Сплавы для термопар
- Сплавы для корпусов приборов
- Тугоплавкие металлы
- Благородные металлы
- Неметаллические проводящие материалы
- Полупроводники. Классификация полупроводниковых материалов
- Собственные и примесные полупроводники
- Температурная зависимость концентрации носителей заряда.
- Подвижность носителей заряда в полупроводниках
- Электрофизические явления в полупроводниках.
- Кремний
- Физико-химические и электрические свойства Si
- Марки кремния.
- Германий
- Физико-химические и электрические свойства германия
- Карбид кремния (SiC)
- Полупроводниковые соединения аiii вv
- Твердые растворы на основе аiii вv
- Полупроводниковые соединения aiibvi и трз на их основе
- Полупроводниковые соединения aivbvi и трз на их основе
- Диэлектрики, классификация, основные свойства
- Электропроводность диэлектриков
- Потери в диэлектриках
- Пробой диэлектриков
- Полимеры в электронной технике
- Композиционные пластмассы и пластики
- Электроизоляционные компаунды
- Неорганические стекла
- Ситаллы
- Керамики
- Активные диэлектрики
- Сегнетоэлектрики
- Пьезоэлектрики
- Пироэлектрики
- Электреты
- Жидкие кристаллы
- Материалы для твердотельных лазеров
- Магнитные материалы. Их классификация
- Магнитомягкие материалы
- Магнитотвердые материалы
- Технология получения материалов электронной техники Методы получения тонких пленок
- Вакуумные методы. Термическое вакуумное напыление.
- Кинетика процесса конденсации. Роль подложки
- Создание вакуума в вакуумных установках
- Измерение вакуума
- Вакуумные установки термического напыления
- Катодное вакуумное распыление (диодное)
- Ионно - плазменное распыление
- Эпитаксиальные процессы в технологии материалов электронной техники
- Механизм процесса эпитаксии
- Автоэпитаксия кремния
- Гетероэпитаксия кремния
- Эпитаксия полупроводниковых соединений аiiibv и трз на их основе
- Температурно - временной режим эпитаксии
- Эпитаксия SiC
- Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев
- Элионные технологии
- Ионно-лучевые установки
- Механическая обработка полупроводниковых материалов
- Шлифование и полирование пластин
- Химическая обработка поверхности полупроводника
- Методы отчистки поверхности
- Фотолитография (операции, материалы)
- Нанотехнология, определения и понятия
- Инструменты для измерения наноструктур
- Наноструктуры и наноустройства
- Методы нанотехнологий