§ 5. Построение и анализ диаграмм с неограниченной растворимостью по данным об изменении термодинамического потенциала. Коэффициент распределения

Как известно из термодинамики, при постоянной температуре и постоянном давлении, та фаза будет находиться в равновесии, для которой наблюдается минимум изобарно-изотермического потенциала G = H – TS.

H = U + PV и G = U + PV - TS

В частности для твердой фазы: U = U₀ + U_Т + U_E, где U₀ – потенциальная энергия решетки при Т = 0 К; U_Т – энергия тепловых колебаний атомов при данной температуре; U_Е – энергия упругих искажений решетки за счет растворения чужеродных атомов; Р – внешнее давление; V – объем занимаемой фазой; S – энтропия; Т – абсолютная температура; Н – энтальпия фазы. Отметим, что в общем случае равновесное состояние системы определяется минимумом того термодинамического потенциала (G, U, H или F), который описывает ее состояние при выбранных переменных параметрах.

Энтропия всегда положительна (S>0) и возрастает с повышением температуры, поэтому с ростом температуры G уменьшается (рис. 3.5 а); при этом кривая G(T) всегда обращена выпуклостью вверх.

Если сравнить температурные зависимости G для двух фаз (жидкой и твердой рис. 3.5 а), то наклон кривых всегда будет различным из-за различия S, поэтому кривые должны пересечься.

Наклон кривой G = f(T) будет круче у той фазы, у которой S больше. Энтропия жидкой фазы больше энтропии твердой фазы того же состава, поэтому кривая для жидкой фазы снижается резче, чем для твердой. Точка пересечения Т_равн соответствует температуре фазового превращения. Ниже и выше этой температуры стабильны разные фазы, обладающие соответственно меньшим значением G.

Рассмотрим концентрационную зависимость G в системе, образованной компонентами А и В. В идеальном случае, когда компоненты А и В совсем не растворяются друг в друге, любой сплав данной системы представляет собой механическую смесь компонентов А и В, и термодинамический потенциал любого сплава системы находят по правилу аддитивности.

Если же компонент В растворим в компоненте А, то вплоть до состава, отвечающего предельной концентрации (Х_Внас), зависимость G от концентрации будет изображаться непрерывной кривой, обращенной выпуклостью вниз, т. е. равновесное растворение связано с уменьшением величины G раствора.

Рассмотрим ход кривой вблизи компонента А (рис. 3.5 б), т. е. в области очень разбавленных растворов.

В этой области равно тангенсу угла между касательной к кривой G=f(X) и осью X и, следовательно, химическому потенциалу компонента В в растворе концентрации :

где – химический потенциал 1 моля чистого компонента В (величина, зависящая только от природы компонента В); R – универсальная газовая постоянная, равная kN_A, где k – постоянная Больцмана, N_A – число Авогадро, Поэтому

(3.25)

Для бесконечно разбавленных растворов Х_В → 0 и соответственно ln Х_В → – ∞ и tgα → – ∞.

Это означает, что кривая G=f(X_B) касается оси ординат, но особенно важно то, что при малых концентрациях компонента В производная является всегда отрицательной величиной. Следовательно, если примесь растворяется в чистом компоненте, то это сопровождается уменьшением изобарно-изотермного потенциала раствора. Это означает, что в этих случаях процесс всегда должен идти в сторону загрязнения чистого компонента.

Этот вывод важен для процессов получения высокочистых металлических, полупроводниковых и диэлектрических материалов и подчеркивает необходимость сведения к минимуму практически неизбежных загрязнений из окружающей среды, материала тиглей и т. д. Отметим, что во всех известных экспериментальных работах было установлено, что всегда присутствует хотя бы ничтожная растворимость компонентов друг в друге.

Термодинамические характеристики растворов. Протяженность области существования раствора (как твердого, так и жидкого) определяется рядом его характеристик, в том числе и термодинамическими характеристиками. Введем эти характеристики для двухкомпонентных растворов. Большинство термодинамических функций раствора не может быть получено путем аддитивного сложения термодинамических функций компонентов, образующих раствор. В частности раствор, образуется только в том случае, если при введении в растворитель добавки понижается изобарно-изотермический потенциал растворителя. Рассмотрим термодинамические функции 1 моля раствора в общем виде (индексы α – функции, относящиеся к раствору, о – функции, относящиеся к чистым компонентам):

;	(3.26)
;
;

где индексом α – обозначен раствор, а индексом 0 – компонента, – изобарно-изотермические потенциалы раствора и компонентов А и В; – изобарно-изотермический потенциал смешения раствора; Х_А и Х_В – концентрация компонентов А и В в растворе; – энтропии раствора и компонентов А и В; – энтропия смешения раствора; – энтальпия раствора и компонентов А и В; – энтальпия смешения раствора; – объемы раствора и чистых компонентов А и В; – объем смешения раствора.

На основании 1-го и 2-го законов термодинамики можно показать, что

(3.27)

Если при описании термодинамических функций раствора учитывать только парные взаимодействия между ближайшими атомами, то можно показать, что ΔН_см и ΔS_см равняются следующим величинам:

	(3.28)
	(3.29)

где Ω_АВ – параметр взаимодействия между компонентами А и В в растворе. (В общем случае величина Ω_АВ зависит от концентрации компонентов и температуры. В тех случаях, когда Ω_АВ практически постоянен, величина ΔН_см раствора зависит только от концентрации Х_А и Х_В).

В свою очередь, параметр взаимодействия равен:

(3.30)

где Z – среднее координационное число в растворе, Н_АВ, Н_АА и Н_ВВ – энтальпии связей А−В, А−А и В−В.

Задача. Определить среднее координационное число −Z для двухкомпонентного раствора, состоящего из 40% компонента А и 60% компонента − В, если валентность компонента А равна 3, а компонента В – 2.

В зависимости от структуры и величины термодинамических функций смешения, а также величины коэффициента активности может быть выделен ряд типов растворов. Остановимся на рассмотрении только двух типов растворов: идеального и регулярного. В приближении этих типов растворов могут быть описаны многие металлические и полупроводниковые растворы, как в твердом, так и в жидком состоянии. Однако следует учитывать ограниченность моделей идеального и регулярного растворов в первую очередь потому, что в них учитывается взаимодействие только между ближайшими соседями. В таблице 3.4. приведены термодинамические характеристики идеального и регулярного растворов. Из значения этих характеристик следует определение этих типов растворов.

В общем случае , ΔН_см, ΔS_см, – учитывают взаимодействие между атомами в растворе.

Таблица 3.4. – Термодинамические характеристики растворов

Для идеального раствора (механическая смесь, нет взаимодействия между компонентами А и В) = 0, ΔН_см = 0, Н⁰ и V⁰ аддитивны, то есть определяются простым сложением компонент; для регулярного раствора (В растворяется в А, есть взаимодействие А с В, и Ω≠ 0) ≠ 0, ΔН_см≠ 0 Н⁰ и V⁰ не аддитивны (изменение энтальпии, смешение атомов разного рода).

Из термодинамики следует, что образование идеального раствора в стандартных условиях сопровождается изменением изобарно-изотермического потенциала смешения:

где – Х_А и Х_В – концентрация компонентов – А и В в растворе.

В случае равновесного сосуществования двух идеальных растворов (жидкого и твердого) с учетом отсчета от стандартного состояния (Т_плА > Т_плВ) изменение ΔG_см отдельно для каждого из растворов имеет вид:

В тоже время известно, что при фазовом переходе

Для чистого компонента в точке его плавления (Т=Т_пл) термодинамические потенциалы жидкой и твердой фазы равны:

Откуда для чистого компонента

При температуре, отличающейся от Т_пл,

.

Учитывая зависимость и пренебрегая небольшой температурной зависимостью и при замене отношением получаем для каждого из компонентов при Т ≠ Т_пл соответственно:

При равновесии (сосуществовании) жидкой и твердой фаз химический потенциал µ для каждого из компонентов одинаков как в жидком так и в твердом растворе:

т.е. справедливы следующие соотношения:

Проведем дальнейший расчет относительно компонента В. Продифференциируем уравнения (3.32) и (3.33) и учитывая, что Х_А = 1 – Х_В, получим соответственно:

	(3.37)
	(3.38)

Заменяя и их значениями из (3.35) и (3.36) и приравнивая правые части равенств (3.37) и (3.38) получим:

(3.39)

Рассмотрим сплавы вблизи чистого компонента А, т.е.

а

при таких условиях значения

и

Отсюда получаем

(3.40)

Повторяя аналогичные рассуждения для области диаграммы вблизи компонента В, получаем

(3.41)

Уравнение линии ликвидуса для равновесия с α-твердым раствором в области малых концентраций компонента В, т.е. при имеет вид

(3.42)

В случае образования регулярных жидких растворов уравнение (3.42) преобразуется к виду

(3.43)

Расчет линий ликвидуса и солидуса в системе Ge-Si, проведенный с помощью выражений (3.40) и (3.41), дает хорошее соответствие расчетных и экспериментальных данных. Это косвенно свидетельствует о том, что германий и кремний образуют между собой практически близкие к идеальным жидкие и твердые растворы.

В других случаях такого соответствия нет. Чем дальше растворы от идеальных, тем больше различие расчетных и экспериментальных данных. Таким образом, выражения (3.40) и (3.41) могут быть использованы лишь в первом приближении в системах с неограниченной растворимостью компонентов.

Если жидкий раствор идеальный, а твердый раствор регулярный (т. е. изменение энтальпии при смешении атомов разного рода в твердом растворе ), то выражения (3.40) и (3.41) преобразуются к виду:

(3.44)

или

(3.45)

В наиболее общем виде для регулярных растворов выражения (3.44) и (3.45) преобразуются в уравнение вида:

где и – энтальпия и энтропия плавления того компонента, отношение концентраций которого в твердой и жидкой фазах рассматривается в левой части равенства; и – концентрация i – того компонента в жидкой и твердой фазах соответственно.

Однако использовать уравнение (3.46) для построения линий ликвидуса и солидуса не всегда удается из-за отсутствия термодинамических характеристик растворов и их температурной и концентрационной зависимостей. Они, как правило, известны лишь для ограниченного числа систем. Поэтому, чаще задача решается в обратной последовательности: экспериментально строят фазовые диаграммы и по положению линий ликвидуса и солидуса на этих диаграммах определяют термодинамические характеристики для данной системы.

Построение ДФР с неограниченной растворимостью по данным об изменении термодинамического потенциала. Для построения диаграмм фазового равновесия двухкомпонентных систем, для которых известно, что взаимодействие компонентов приводит к образованию непрерывного ряда твердых и жидких растворов, и известны температуры плавления чистых компонентов ( и ) и их температурные зависимости (Т) поступают следующим образом:

1) для нескольких температур, лежащих в интервале между температурами плавления компонентов ( < < ), строят изотермические кривые, отражающие концентрационные зависимости изобарно-изотермных потенциалов твердой и жидкой фаз (рис. 3.6. а, б);

2) с помощью графического дифференцирования этих кривых находят координаты фигуративных точек, лежащих при выбранной температуре на кривых ликвидуса и солидуса и отвечающих составам жидкой и твердой фаз, находящихся в равновесии. Координаты фигуративных точек находят с учетом того, что величины химических потенциалов компонентов в этих точках равны: µ_тв = µ_ж; или ; (рис. 3.6. б),

3) по полученным фигуративным точкам строят кривые ликвидуса и солидуса (рис. 3.6. в).

4) находят точки, лежащие на кривых ликвидуса и солидуса, при Т=Т₁. Находят такие точки для других температур.

Коэффициент распределения. Отношение / в выражениях (3.45) и (3.46) представляет собой важную характеристику равновесия между твердой и жидкой фазами (кристалл – расплав). Это отношение концентрации растворенного компонента в твердой в жидкой фазе при той же температуре называют коэффициентом распределения:

k₀ = , при постоянной температуре

Из диаграммы фазового равновесия могут быть найдены величины равновесных коэффициентов распределения. Однако поскольку линии ликвидуса и солидуса, как правило, криволинейны, коэффициент распределения k₀ зависит от концентрации X_i:

k₀ =f (X_i)

Для приближенной оценки значения k₀ линии ликвидуса и солидуса обычно заменяют касательными к ним вблизи основного компонента (растворителя), как это показано рис. 3.7. В этом случае значение k₀ в области малых концентраций можно считать независящим от концентрации k₀ f (X_i).

Как следует из рис. 3.7., коэффициент k₀ > 1 соответствует тому случаю, когда примесь повышает температуру плавления растворителя. При k₀ < 1 температура плавления растворителя понижается при растворении в нем примеси.

Знание значений коэффициентов распределения необходимо при разработке режимов очистки металлов и полупроводниковых материалов методом зонной плавки: чем больше отличается k₀ от единицы, тем эффективнее очистка.

Из элементарных алмазоподобных полупроводников (Ge, Si, C) диаграмму фазового равновесия с неограниченной растворимостью образуют только Ge и Si. Они полностью отвечают вышеперечисленным требованиям.

Si и C (алмаз) отвечают требованиям по химической связи (природе) и типу решетки, но очень сильно различаются по размеру ковалентных тетраэдрических радиусов:

R_Si=0,117 нм, R_c=0,077 нм, » (10÷15)%

Поэтому растворимость С в Si не превышает долей процента, а Si в С еще меньше.

Неограниченная растворимость – очень распространенное явление среди полупроводниковых соединений. Их образуют между собой многие соединения классов : А^IIIB^V, А^IIB^VI, А^IVB^VI, А^IIIB^V А^VB^VI и др.

Такие твердые растворы находят широкое применение. Этому способствует то, что твердые растворы полупроводников с неограниченной растворимостью позволяют получать сплавы с любыми значениями ширины запрещенной зоны, периода решетки (межатомных расстояний), коэффициентов термического расширения и ряда других параметров. Периоды решетки, в первом приближении изменяются аддитивно (правило Вегарда), другие параметры – по более сложным законам. Учитывая возможности, создаваемыми такими твердыми растворами, установление зависимостей их свойств от состава является важной материаловедческой задачей.

Задачи:

3.1. Определите энтропии плавления для Fe, W, Si, Te и сопоставьте полученные значения с характером изменения химических связей этих веществ при плавлении (температуры плавления Fe, W, Si и Te составляют 1530, 3416, 1412 и 450^оС соответственно).

3.2. Ge содержит в одинаковых концентрациях фоновые (вредные) примеси Cu (k_oCu = 1,5·10^-5) и Sn (k_oSn = 2·10^-2). Перед получением из такого материала совершенного монокристалла по методу Чохральского (из жидкого раствора-расплава) его подвергают зонной плавке для понижения концентрации Cu и Sn на несколько порядков величины. Какая из примесей требует меньшего числа проходов зонной плавки?

3.3. Как изменится значение коэффициента распределения примеси (при k₀ < 1 и k₀ > 1) при увеличении скорости роста кристалла вследствие увеличения переохлаждения расплава.

3.4. Вода (лед) образует с неизвестной примесью раствор с неограниченной растворимостью компонентов в жидком и твердом состоянии. При этом примесь повышает температуру плавления льда. При некоторой температуре Т система находится в двухфазном состоянии (Тв + Ж). В какой из фаз концентрация примеси меньше при этой Т?

3.5. Воду с примесью вынесли на мороз. Половина воды замерзла. Где примеси будет больше: в незамерзшей воде или во льду? Задачу рассмотреть для двух случаев: 1) k₀ > 1 (примесь увеличивает температуру плавления льда); 2) k₀ < 1 (примесь понижает температуру плавления льда).

§ 6. Т – Х – диаграммы фазовых равновесий двойных систем с ограниченной растворимостью компонентов

Неограниченная растворимость компонентов друг в друге встречается относительно редко, значительно чаще их взаимодействие носит сложных характер.

В пределах одной двойной системы в различных интервалах концентраций могут реализоваться (и часто реализуются) разные фазы, что приводит к усложнению диаграмм фазового равновесия.

Переход от неограниченной растворимости к ограниченной. Термодинамический анализ позволяет качественно, а во многих случаях и количественно, объяснить переход от диаграммы с неограниченной растворимостью к другим типам фазовых диаграмм. Исходным пунктом для решения вопроса о результатах взаимодействия атомов разного сорта при их смешении является знак изобарно-изотермного потенциала смешения:

Величина сложно зависит от ряда факторов, основными из которых являются два:

1) химический, учитывающий степень химического сродства компонентов (их валентность, электроотрицательность, тип решетки);

2) геометрический, учитывающий разницу в «размерах атомов» взаимодействующих компонентов при образовании раствора: , где и – атомные радиусы компонентов А и В, определяемые химической связью, возникающей при образовании раствора.

Усиление химического сродства компонентов уменьшает внутреннюю энергию фазы и, следовательно, величину энтальпии, поскольку

(3.47)

поэтому в этом случае должно быть отрицательным.

Увеличение разницы в размерах взаимодействующих атомов должно вызывать возрастание внутренней энергии и соответственно энтальпии , в том числе в случае твердого раствора за счет увеличения энергии упругой деформации решетки ( ); при этом должно быть положительным.

Нужно различать случаи химического взаимодействия при образовании твердого раствора между ближайшими соседними атомами одного сорта (А–А) или (В–В) и взаимодействие между ближайшими соседними атомами разного сорта (А–В). Соответствующие энергии связи (энтальпии) обозначим и .

В случае идеального раствора энергия связи пар атомов разного сорта будет равна среднему арифметическому от энергии связи пар атомов одного сорта, т. е.

(3.48)

В этом случае энтальпия смешения = 0, так же как и параметр взаимодействия Ω = 0 (см. табл. 3.4).

В реальном растворе . Знак величины энтальпии смешения зависит от знака Ω. Величина , так же как и Ω, может быть отрицательной или положительной.

Следует, однако, учитывать, что результат взаимодействия компонентов определяется величиной только при низких температурах: Т→0. С повышением температуры в соответствии с выражением (3.27) становится значительной роль произведения (так называемого энтропийного члена).

Диаграммы фазовых равновесий с эвтектическим превращением. В двойных системах, в которых кристаллические структуры компонентов различаются, а их растворение друг в друге приводит к понижению температур кристаллизации, могут происходить эвтектические^٭ превращения.

Диаграмма с эвтектикой схематически показана на рис. 3.8а. Она состоит из шести фазовых областей: однофазная область жидкого раствора Ж, двухфазные области жидкий раствор Ж+твердый раствор α и жидкий раствор Ж+твердый раствор β; однофазные области первичных твердых растворов α и β; двухфазная область сосуществования твердых растворов α+β.

Наклонные линии ликвидуса А'е и В'е представляют собой геометрическое место фигуративных точек жидких растворов предельной концентрации при соответствующих температурах.

Наклонные линии солидуса А'с и B'd являются геометрическим местом фигуративных точек твердых растворов предельной концентрации, существующих при определенных температурах, превышающих эвтектическую температуру T_e.

Горизонтальная линия ced является эвтектической линией. Только три точки на линии ced являются фигуративными, они характеризуют предельную концентрацию твердых растворов α (точка с) и β (точка d) и жидкого раствора (точка е) при температуре эвтектического превращения.

٭ эвтектика (eutektos – (греч) – легко плавящийся) – тонкая смесь твердых веществ, одновременно выкристаллизовывающихся из расплава при температуре более низкой, чем температура плавления отдельных компонентов.

На рис. 3.8в приведено строение кривых изобарно-изотермных потенциалов твердых растворов α и β и жидкого раствора при температуре эвтектики. Эвтектическая температура Т_е и положение эвтектической точки (точки е) в случае образования в системе идеальных жидких растворов и при малой растворимости компонентов друг в друге в твердом состоянии могут быть рассчитаны из совместного решения уравнений ликвидуса компонентов А и В:

(3.49)

Особенность эвтектической линии ced состоит также в том, что при эвтектической температуре (Т_е) в сплавах состава от с до d в равновесии находятся три фазы указанного выше состава.

Задача. Определить число степеней свободы С в сплавах от с до d при Т_е.

Наклонные линии ас и bd – геометрические места фигуративных точек твердых растворов предельной концентрации, существующих при температурах ниже эвтектической (кривые растворимости).

В ходе охлаждения из однофазной области при температуре пересечения линии состава с наклонной линией диаграммы сплав оказывается в состоянии предельно насыщенного раствора. Ниже точки пересечения начинается распад пересыщенного раствора с выделением другой фазы, состав которой характеризует точка пересечения коноды со второй наклонной линией, ограничивающей данную двухфазную область. При охлаждении в пределах двухфазной области одновременно изменяются как состав обеих фаз, так и их количественное соотношение.

В сплавах составов от с до d при охлаждении происходит распад жидкого раствора состава е на два твердых раствора составов с и d по реакции:

Же↔Твс + Твd (охлаждение ↔ нагрев)

(3.50)

На диаграмме рис. 3.8а показаны линии составов четырех характерных сплавов и соответствующие им кривые охлаждения с указанием фазового состава сплавов в различных температурных интервалах. Протяженность площадки на кривой охлаждения, связанной с нонвариантным превращением для сплавов Х₃ и Х_е, пропорциональна количеству жидкого расплава, превращающегося в эвтектическую смесь при температуре Т_е. Для сплава Х_е это количество составляет 100%, а для сплавов X₁ и Х₂ 0%, для всех остальных определяется по правилу рычага или по закону аддитивности¹.

Следует обратить внимание на то, что при охлаждении любого сплава, лежащего в двухфазной области α+β, начиная с температуры Т_е, изменяется состав обоих твердых растворов по кривым са и db (при этом они обедняются растворенным компонентом) и количественное соотношение фаз определяется по правилу рычага.

Для диаграмм с эвтектикой возникает необходимость ввести, кроме понятия «фаза», еще понятие «структурная составляющая». Для диаграммы с неограниченной растворимостью эти понятия совпадали.

В области α+β диаграммы с эвтектикой фазовый состав для любого сплава одинаков – это смесь из фаз α и β, но по условиям образования этих фаз, характеру их расположения и форме частиц сплавы различаются. Это различие существенно, поскольку свойства сплавов зависят не только от состава фаз, но также и от геометрии и характера взаиморасположения частиц фазовых составляющих.

Структурными составляющими являются первичные кристаллы, выделяющиеся из пересыщенного жидкого расплава по наклонным линиям (солидус) диаграммы; вторичные кристаллы, выделяющиеся из пересыщенного твердого раствора по наклонным линиям (линии растворимости) диаграммы; эвтектики (эвтектические смеси), представляющие собой смесь кристаллов двух твердых фаз, одновременно образующихся по эвтектической реакции (3.50). Схематичный вид различных структурных составляющих² показан на рис. 3.9.

Таким образом, сплавы в системе, приведенной на рис. 3.8 а, включают следующие структурные составляющие:

от А до Х_α – α-первичные кристаллы;

от Х_α до Х_с – α-первичные + β-вторичные кристаллы;

от Х_с до Х_е (доэвтектические сплавы) – α-первичные кристаллы + эвтектика (α + β)+ β-вторичные кристаллы;

Х_е (эвтектический сплав) – эвтектика (α+β);

от Х_е до Х_d (заэвтектические сплавы) – β-первичные кристаллы + эвтектика (α+β) + α-вторичные кристаллы;

от X_d до Х_b – β-первичные + α-вторичные кристаллы;

от Х_b до В – β-первичные кристаллы.

Диаграммы с эвтектикой, схематически рассмотренные выше, характеризуются тем, что предельная концентрация растворов αиβ относительно велика. Взаимная растворимость компонентов, хотя и ограничена, но составляет единицы и даже десятки процентов. В этих случаях оба компонента являются элементами с одинаковой природой химических связей.

^{_______________________________________________________________________________________________________ 1}Количестенное сопоставление размеров горизонтальных площадок на кривых охлаждения или нагрева возможно лишь для сплавов одинаковой массы.

²При температуре эвтектического превращения эвтектика состоит и первичных кристаллов, а при понижении температуры в ней появляются и вторичные кристаллы.

Диаграммы фазовых равновесий с вырожденным эвтектическим превращением. Если один из компонентов двойной системы полупроводник, т. е. обладает направленными и насыщенными связями и в силу этого плохо растворяет в себе элементы с иной природой связей (велика ), то вид фазовой диаграммы изменяется. Фазовые диаграммы металл-полупроводник имеют вид, схематически показанный на рис. 3.10.

Диаграммы типа, представленного на рис. 3.10а, характерны для систем Ag-Ge, Au-Ge, Al-Si. Диаграммы типа, представленного на рис. 3.10б, которые называют диаграммами с вырожденной эвтектикой (эвтектическая точка близка к чистому компоненту), характеризуют равновесие в системах In-Ge, Pb-Ge, Ga-Si, Zn-Si, Tl-Ge, Bi-Ge, Sn-Ge.

Исследования, выполненные с использованием сверхчистых материалов, новейших прецизионных методов структурного анализа и измерения электрофизических параметров, показали, что всегда имеется хотя бы ничтожная взаимная растворимость компонентов. Это подтверждает справедливость термодинамического вывода, приведенного ранее. Металлы растворяются в полупроводниках, однако, в очень малых количествах, исчисляемых сотыми и тысячными долями атомных процентов.

Для изображения такой малой растворимости на фазовых диаграммах применяется, как уже отмечалось выше, введение иного масштаба на оси концентраций. В качестве примера можно привести изображение фазовых диаграмм систем Si-Fe и Si-Аu (на рис. 3.1).

Растворимость металлов в полупроводниках оказалась не только малой, но и своеобразно зависящей от температуры, что имеет большое практическое значение. В ранее рассмотренных диаграммах с эвтектикой максимальная растворимость одного компонента в другом имела место при эвтектической температуре Т_е. Эта закономерность справедлива для большинства растворов на основе металлов. Однако в случае растворов на основе полупроводников (Ge, Si, соединения типа A^IIIB^V) максимальная растворимость наблюдается при температурах, значительно превышающих эвтектические, и уменьшается к температуре эвтектики Т_е в несколько раз. Так, в системах Si-Аu и Si-Fe (см. рис. 3.1) растворимость при температуре Т_е в 10 – 15 раз меньше, чем максимальная температура (при Т > Т_е). Такой вид растворимости, когда максимум ее соответствует температурам, превышающим эвтектические, назван ретроградной растворимостью. Ретроградная растворимость наблюдается, например, для твердых растворов металлов в полупроводниках Ge, Si и в А^IIIB^V. В твердых растворах на основе металлов ретроградная растворимость встречается редко. Термодинамические причины ретроградной растворимости изучены недостаточно. Она связана с большой величиной энтальпии смешения при растворении примесей в полупроводниках.

Диаграммы фазовых равновесий с эвтектоидным превращением.

Превращения эвтектического типа могут испытывать не только жидкие, но и твердые растворы. Нонвариантное превращение, заключающееся в распаде твердого раствора на две другие твердые фазы, принято называть эвтектоидным, а соответствующую структурную составляющую – эвтектоидом.

Тв1↔Тв2 + Тв3, (охлаждение ↔ нагрев)

(3.51)

Типичным примером эвтектоидного превращения может служить превращение в системе Fe-С (рис. 3.11).

В этой системе аустенит (твердый раствор углерода в γ-железе с г.ц.к. решеткой), содержащий 0,8 % С, распадается при 723°С на смесь двух фаз: карбид железа Fе_зС (цементит) и твердый раствор углерода в α-железе (о.ц.к. решетка), содержащий 0,04 % С (феррит):

γ ↔ α + FезС, (охлаждение ↔ нагрев)

Задача. Определить число степеней свободы С при перетектоидном превращении.

Эвтектоидная структурная составляющая, содержащая две последние фазы, называется перлитом. Количество перлита, форма и размеры входящих в него частиц цементита оказывают определяющее влияние на свойства стали.

Рассмотренный пример хорошо иллюстрирует еще одну важную особенность эвтектоидного превращения: оно связано с перемещением (диффузией) компонентов в твердом растворе на очень большие расстояния. Так, для того чтобы в стали, содержащей 0,8 % С, при эвтектоидном превращении образовалась частица Fе_зС размером в сотую долю микрометра (100 нм), атомы углерода должны собраться из 1,5 миллиона элементарных ячеек.

Характер диаграмм с эвтектикой в системах полупроводник – металл играет важную роль при выборе сплавов для легирования полупроводников и образования контактов методом вплавления или сплавления – диффузии.

Диаграммы фазовых равновесий с перитектическим превращением.

Одной из особенностей рассмотренных выше диаграмм с эвтектикой является то, что компоненты системы А и В, растворяясь друг в друге, понижают температуру плавления раствора как со стороны А, так и со стороны В.

Если же при ограниченной растворимости компонентов друг в друге один из них, например В, растворяясь в А, понижает температуру плавления растворов на его основе, а компонент А, растворяясь в В, наоборот, повышает Т_пл раствора, то вместо эвтектического превращения на диаграмме присутствует так называемое перитектическое превращение (n – точка перитектики, рис. 3.12 а).

Эвтектическое превращение в двойной системе заключается в распаде раствора при охлаждении на две другие фазы; перитектическое превращение, наоборот, представляет собой процесс образования одной фазы за счет взаимодействия двух других фаз, полностью или частично исчезающих при этом. Эта реакция записывается так: (охлаждение ↔ нагрев)

Ж + Твb1 ↔ Твb2 или Ж + α ↔ β

(3.52)

Перитектическое превращение в двойной системе является нонвариантным. Составы трех равновесных фаз, как и на линии эвтектики, определяются точками пересечения горизонтальной линии перитектики ab с наклонными линиями на фазовой диаграмме (т. е. точками a, n, b).

На рис. 3.12 б приведены кривые охлаждения для пяти сплавов Х_n, Х₁, Х₂, Х₃, X₄, составы которых показаны на рис. 3.12 а. На кривых охлаждения указан фазовый состав сплавов в различных температурных интервалах.

Задача. Определить вариантность системы при температуре Т_n, рис. 3.12 а.

Протяженность площадки на кривых охлаждения при Т_n для сплавов Х_n, Х₁, Х₂ пропорциональна количеству¹ взаимодействующих жидкого раствора и твердой фазы (по количеству фазы, образовавшейся по перитектической редакции при Т_n). Для сплава Х_n эти относительные количества принимаются за 100%, для остальных сплавов по протяженности площадки с помощью правила рычага можно определить долю сплава, претерпевающую перитектическое превращение.

Для сплавов, составы которых лежат в интервале от Х_а до Х_n, количество жидкой фазы при температуре Т_n недостаточно, чтобы произошло взаимодействие со всей твердой фазой. В итоге после перитектического превращения, кроме новой фазы, сплавы будут содержать и избыточное количество первичных кристаллов фазы α. Для сплава X₁ при температуре чуть ниже Т_n количество избыточных кристаллов в сплаве будет равно (Х_1n/аn)·100%.

Аналогично для сплавов, составы которых лежат в интервале от Х_n до Х_b, количество фазы α при Т_n будет мало по сравнению с количеством жидкой фазы. В итоге по завершении перитектического превращения в сплавах сохранится избыточное количество жидкой фазы.

В сплаве Х₂ ее относительное количество составит (nX₂/nb_ж)·100%.

Важной особенностью системы с перитектикой является то, что при температуре Т_n кристаллизация завершается только у части сплавов, претерпевающих перитектическое превращение. Как видно из диаграммы на рис. 3.12 для сплавов в интервале от Х_n до X кристаллизация завершается ниже Т_n на линии nВ'.

Линией ликвидуса (начало кристаллизации) является линия А'bВ', а линией солидуса – линия А'аnВ'. Линия аС называется кривой растворимости. Линия аb – перитектической горизонталью, на ней лежат три фигуративные точки а, n и b, отвечающие составу фаз, претерпевающих нонвариантное превращение.

Если превращение, аналогичное перитектическому, происходит с участием только твердых фаз, то его называют перитектоидным.

Тв1 + Тв2 ↔ Тв3 или α + β ↔ γ (охлаждение ↔ нагрев)

(3.53)

_________________

¹ Количественное сопоставление размеров горизонтальных площадок на кривых охлаждения или нагрева возможно лишь для сплавов одинаковой массы.

Диаграммы фазовых равновесий с химическими соединениями. Как отмечалось ранее, в случае большой отрицательной величины теплоты смешения , т. е. при большом химическом сродстве компонентов системы, их взаимодействие приводит к образованию химических соединений. На диаграммах фазовых равновесий химические соединения изображаются вертикальными линиями (при высоких температурах может наблюдаться отклонение от вертикали).

Рассмотрим особенности фазовых диаграмм с химическими соединениями. С этих позиций все соединения можно классифицировать по двум признакам:

1. по соотношению составов соединения и жидкой фазы, образующейся при плавлении этого соединения. Соединения, для которых эти составы совпадают, называются конгруэнтно плавящимися, или стойкими. Если же указанные составы не совпадают, соединения называются инконгруэнтно плавящимися, или нестойкими;

1. по способности растворять в себе другие компоненты, в том числе составляющие данное соединение, или, иначе, по способности образовывать твердые растворы на своей основе.

Однофазную область твердых растворов компонентов в этом соединении называют областью гомогенности.

Различают соединения с широкой областью гомогенности, исчисляемой процентами, и соединения с узкой областью гомогенности, исчисляемой десятыми и меньшими долями процентов и не выявляемой на диаграммах фазового равновесия, построенных в обычном масштабе.

Конгруэнтно плавящиеся соединения образуются во многих системах с полупроводниковыми фазами: А^III–В^III, A^III–B^IV и др. Температура плавления таких соединений лежит на линии ликвидуса, а сама линия имеет вид кривой с максимумом, который во многих случаях соответствует составу соединения (рис. 3.13 а). (Конгруэнтность – лат. congruens (congruentis) соразмерный, соответствующий, совпадающий; в геометрии – соразмерность, соответствие, совпадение. Гомогенный – гр. homogenes – по составу). Такая система всегда содержит нормальные или вырожденные эвтектики и может быть разделена на частные простые эвтектические системы, при этом соединения выступают в качестве компонентов этих систем, а, следовательно, ординаты соединения делят диаграмму на частные диаграммы: М = q+1, где М – число частных диаграмм, q – число конгруэнтно плавящихся соединений в системе. Так, системы In-As и Ga-As разделяются на две простые эвтектические, Gr-Si – на четыре, т. е. конгруэнтно плавящееся соединение выступает как компонент системы.

Инконгруэнтно плавящиеся соединения (рис. 3.13). Плавление соединений этого типа, например Ga₃Te₄ (рис. 3.13. а), идет как превращение перитектического типа при нагреве, т.е. твердая фаза превращается в две фазы – жидкую и твердую, составы которых лежат по обе стороны состава исходного соединения. Таким образом, температура плавления соединения лежит ниже линии ликвидуса, результате чего последняя не имеет максимума, связанного с соединением.

Если в системе, помимо инконгруэнтно плавящегося, есть и конгруэнтно плавящееся соединение, то в соответствующей области концентраций на линии ликвидуса будет наблюдаться максимум, как это имеет место в системе Ga-Те (см. рис. 3.13 а) в случае соединений GaTe и Ga₂Te₃. Разбивать диаграмму состояния с нестойким соединением на простые диаграммы, принимая это соединение за компонент системы, нельзя.

Соединения, образующие широкие области гомогенности. Соединения этого типа весьма распространены в металлических и полупроводниковых системах (металлические соединения типа фаз внедрения, халькогениды и др.). Среди соединений этого типа а выделяют две групы: дальтониды и бертоллиды.

Дальтониды – соединения с широкой областью гомогенности – характеризуются тем, что формульный состав соединения находится внутри области гомогенности (рис. 3.14 а, б, в); общим для диаграмм с дальтонидными фазами является присутствие сингулярной точки на кривых ликвидуса и солидуса, состав которой отвечает дальтониду и простым стехиометрическим соотношениям компонентов. На диаграмме состав – свойство формульному составу соединения отвечает экстремальное значение свойств.

Бертоллиды характеризуются тем, что формульный состав соединения лежит вне области гомогенности (см. рис. 3.14 г, д). Это означает, что для соединения бертоллидного типа формульного состава не существует. Сплав, отвечающий формуле соединения, состоит из двух фаз, одна из которых представляет собой твердый раствор на основе соединения. Изохорно-изотермный потенциал такой двухфазной смеси меньше изохорно-изотермного потенциала соединения строго формульного состава. На диаграмме состав – свойство в пределах составов, отвечающих области гомогенности, свойства изменяются монотонно.

Соединения, образующие узкие области гомогенности. К ним относится большинство полупроводниковых соединений, которые образуют узкие области твердых растворов с компонентами, входящими в состав соединений. Так, ширина области колеблется от десятых (например, в соединениях типа A₂^IIIB₃^VI, так для In₂Те₃ от 59,5 до 60% Те) до сотых (A^IIB^VI) и даже тысячных (А^IIIВ^V) долей атомного процента. Несмотря на малую величину, растворимость играет важнейшую роль в формировании физических свойств соединения. Поэтому изучение особенностей твердых растворов, расположенных в узкой области гомогенности (т. е. с избытком компонентов А и В), представляет собой важную и экспериментально сложную задачу.

Одной из особенностей является то, что в очень большом числе случаев на основе соединений A^IIIB^V и А^IIВ^VI в пределах области гомогенности образуются суперпозиции твердых растворов, например твердый раствор вычитания и твердый раствор внедрения. Вторая особенность заключается в том, что максимум температуры плавления приходится в этих случаях на составы, несколько отличающиеся от стехиометрического и получить соединения строго стехиометрического состава трудно. Такие соединения получили название соединений со смещенной стехиометрией. Однако при небольшом отклонении от стехиометрии, соединение, плавящееся с открытым максимумом, рассматриваются (в первом приближении) как конгруэнтно плавящееся соединение.