1.2.1 Обладнання для отримання гранульованого плівкового сплаву на основі Ag і Co

Для отримання плівкових систем на основі Co і Ag, використовувався універсальний вакуумний пост ВУП-5М (рис.1.5, а) з тиском залишкових газів ~10-4 Па. Він призначений для отримання і дослідження плівок із різних матеріалів методами термічного, магнетронного та електронно-променевого розпилення, а також для підготовки об’єктів, які вивчаються за допомогою електронного мікроскопу або інших аналогічних приладів[25].

Рис.1.5. Зовнішній вигляд ВУП-5М (а) та піч для термічної обробки зразків (б)

Метали конденсувались на ситалову підкладку. Контакти у вигляді плівки Cu/П (П-підкладка) формувались через спеціальну маску і витримувались після конденсації у вакуумі 1 годину з метою стабілізації структурно-фазових процесів.

При отриманні двошарових плівок осадження здійснювалось пошарово на ситалову підкладку через маску з геометричними розмірами (1х10) мм². З метою стабілізації свіжосконденсовані плівки витримувалися у вакуумі протягом 0,5–1,0 годинн. Ag/Co плівкові системи отримувалася методом термічного випаровування в одному циклі почергово кожен шар.

Отримані зразки різної товщини піддавались термічному відпаленню для отримання гранульованих сплавів. Відпалювання здійснювалося у вакуумі на спеціальній печі (рис.1.5, б) в інтервалі температур Tв = 300–900 К. До зразка під’єднувалася хромель-алюмілева термопара, за допомогою якої можна було контролювати температуру нагріву та охолодження.