ВИСНОВКИ

За допомогою електронного мікроскопа дослідником реєструється зображення обєкта. Цим пояснюється широке застосування методу електронної мікроскопії в різних галузях науки й техніки.

1. Просвітлююча електронна мікроскопія припускає вивчення тонких зразків за допомогою пучка електронів, що проходять крізь них і взаємодіють з ними. Електрони, що пройшли крізь зразок, фокусуються на пристрої формування зображення: флюресцентному екрані, фотопластинці або сенсорі ПЗЗ-камери.

2. Режим дифракції електронів використовують для дослідження фазового складу плівкових зразків. Так нами було розглянуто ряд робіт де розглядався вплив температурної обробки на фазовий склад багатошарових плівкових систем на основі Ti та Al, електрофізичні властивості плівок міді в умовах хімічної взаємодії з газами залишкової атмосфери тощо.

3. Світлопольний режим використовується для дослідження мікроструктурних характеристик металевих та біметалевих зразків. Нами було розглянуто ряд робіт де розповідається про властивості, приготування та мікроструктурний аналіз тонких плівок PbTe, легованих натрієм; структурні властивості хімічно осаджених тонких плівок срібла с вольфрамом тощо.

мікроскоп світлопольний плівковий дифракційний

СПИСОК ЛІТЕРАТУРИ

1 1.720.091. РЭ. Руководство по эксплуатации. Микроскоп электронный просвечивающий ПЕМ-125К.

2 Хейденрайх Р. Основы просвечивающей электронной микроскопии: Пер. с англ./Под ред. Кардонского В. М. - М.: Изд-во Мир, 1966. - 472 с.

3 http://www.femto.com.ua/articles/part_2/4707.html - Физическая энциклопедия [Электронный ресурс]. - 25.04.2011.

4 Томас Г., Гориндж М.Дж. Просвечивающая электронная микроскопия материалов: Пер. с англ./Под ред. Вайнштейна Б.К. - М.: Наука. Главная редакция физико-математической литературы, 1983. - 320 с.

5 Пилянкевич А.Н., Климовицкий А.М. Электронные микроскопы. - Киев: Техніка, 1976. -168 с.

6 http://tokyo-boeki.ru/wps/wp-content/uploads/2009/09/jem2100.jpg - [Електронний ресурс]. - 25.04.2011.

7 Синдо Д., Октава Т. Аналитическая просвечивающая электронная микроскопия. - Москва: Техносфера, 2006. -256 с.

8 Проценко І.Ю., Чорноус А.М., Проценко С.І. Прилади та методи дослідження плівкових матеріалів. Навчальний посібник. - Суми: Вид-во СумДУ, 2007. - 264 с.

9 http://www.eunnet.net/metod_materials/wm7/film.htm - Oстроушко А.А., Могильников Ю.В. - Физико-химические основы получения твердофазных материалов электронной техники [Электронный ресурс]. - 25.04.2011.

10 Степаненко А.О., Дехтярчук Л.В., Чорноус А.М. Вплив температурної обробки на фазовий склад багатошарових плівкових систем на основі Ti та Al, отриманих магнетронним методом // Вісник СумДУ. - 2008. - №2. - С.124-128.

11 Фреїк Д.М., Яцишин Б.П. Технологічні аспекти нанокластерних і нанокристалічних структур // Фізика і хімія твердого тіла. - 2007. - Т. 8, № 1. - С. 7-24

12 Соломаха В.А., Степаненко А.О., Чорноус А.М Електрофізичні властивості плівок міді в умовах хімічної взаємодії з газами залишкової атмосфери // Фізика і хімія твердого тіла. - 2004. - Т. 5, № 3. - С. 449-454.

13 Богуш В.А. Структурные свойства химически осажденных тонких пленок серебра с вольфрамом // Доклады БГУИР. - 2003. - Т. 1, № 3. - С.53-59.

14 Димарчук В.О., Огенко В.М., Набока О.В. та ін. Електронна структура продуктів карбонізації толуілендиізоціанату у матриці Al₂O₃ // Науковий вісник Волинського національного університету імені Лесі Українки. - 2008. - №9. - С.28-34.

15 Рогачова О.І., Григоров С.М., Федоров О.Г. та ін. Приготування, дослідження структури та властивостей тонких плівок PbTe, легованого натрієм // Нові технології. - 2010. - № 2 (28). - С.16-21.