ВСТУП

Розвиток технологій нанесення плівок та покриттів потребує розробки та удосконалення неруйнівних методів контролю їх властивостей. Серед них особливої уваги заслуговують так звані ядерно-фізичні методи дослідження. При взаємодії пучка заряджених частинок з мішенню виникає вторинне випромінювання, кожний вид якого може бути використаний для отримання інформації про зразок. Так, вторинні електрони використуються в електронній мікроскопії і ядерних мікрозондах для одержання зображень поверхні мішені, світлові кванти у методі іонної люмінесценції , рентгенівські та гама-кванти у методиках індукованих продонами рентгенівського та гамового випромі-нювання, продукти ядерних реакцій у методі рентгенівського ядерного аналізу, вибиті з мішені вторинні іони у методі ядер віддачі, обернено розсіяні іони та протони первинного пучка у методі резерфордівського зворотного разсіяння (РЗР). Кожний із цих методів має свої переваги і недоліки, тому для одержання різнобічної інформації про зразок, сучасні установки для вивчення хімічного складу містять у собі одразу декілька методик [1].

Вибір даного методу пояснюється тим, що метод РЗР дозволяє забезпечити розподіл елементного складу по глибині порядку 0,3-30 нм і визначення концентрації домішок з точністю 1-2% [2].

Використання ефекту каналування з РЗР дозволяє одержувати унікальну інформацію про розташування атомів легуючої домішки кристалічних ґраток, профілях розподілу радіаційних дефектів в іонно-легованих шарах і порушеннях структури приповерхніх шарів кристала.

Мета роботи полягає в використанні методу РЗР для дослідження хімічного складу плівок групи А2B6 та A2MnB6, визначенні параметрів та режимів при безпосередньому отриманні плівкових структур Ag/ZnMnS/ситал та Ag/ZnS/ситал, а також проведені структурних дослідженнях плівок та моделюванні спектрів РЗР з метою визначення оптимальних параметрів подальшого експерименту.