2.2.1 Принцип действия
Первым насосом такого типа был созданный в 1912 г. пластинчато-роторньтй насос, схема которого показана на рисунке 2.4. В цилиндрической камере 1 насоса вращается в направлении, указав стрелкой, эксцентрично расположенный ротор 2, в прорези которого свободно вставлены пластины З с пружиной 4. При вращении ротора пластины скользят по внутренней поверхности цилиндра, и в камере насоса образуются две полости переменного объема: I (полость всасывания) и II (полость сжатия). Полость всасывания I при вращении ротора увеличивает свой объем, и в нее по ступает газ из впускного патрубка 5, связанного с откачиваемым объемом. Объем полости сжатия II, расположенный на выпускной стороне, уменьшается при вращении ротора, и в ней происходит сжатиё газа. Эта полость соединена с клапаном 6. Когда давление газа в полости II станет достаточным для открытия клапана, произойдет выхлоп. Выхлопной клапан находится под уровнем масла, что препятствует попаданию атмосферного воздуха в насос. В процессе работы зазоры в роторном механизме уплотняются рабочей жидкостью насоса -- маслом, благодаря чему обратное перетекание газа с выхода на вход становится ничтожно малым. Масло заполняет и так называемые вредные пространства, из которых газ вытесняется при работе роторного механизма (например, объем под клапаном), и исключает их влияние, ведущее к повышению остаточного давления. Одновременно масло обеспечивает смазку и частичное охлаждение механизма насоса. Масло поступает в камеру насоса через зазоры и сверления в корпусе из маслорезервуара, где оно находится под атмосферным давлением, а через выхлопной клапан вновь возвращается в маслорезервуар.
Рисунок 2.4 - схема пластинчато-роторного насоса
- Перечень определений, обозначений и сокращений
- Введение
- 1 Теоретическая часть
- 1.1 История развитие растрового электронного микроскопа
- 1.2 Устройство и работа растрового электронного микроскопа
- 1.3 Устройство и работа составных частей микроскопа
- 1.3.1 Общая компоновка микроскопа
- 1.3.4 Электронная линза
- 1.3.6 Камера объектов
- 1.3.7 Состав электропитания
- 1.3.8 Контрольно-измерительные приборы
- 1.3.9 Прибор индикатора вакуума
- 1.3.10 Видеоконтрольное устройство
- 1.3.11 Блок комбинированный
- 1.3.12 Блок видеоконтрольного устройства ВК - 23
- 1.3.13 Приспособление для фотографирования
- 2. Экспериментальная часть
- 2.1 Вакуумная система
- 2.1.1 Вакуумный распределитель
- 2.1.2 Высоковакуумная ловушка
- 2.2 Форвакуумный насос
- 2.2.1 Принцип действия
- 2.2.2 Параметры и характеристики
- 2.3 Диффузионный насос
- 28.Устройство и принцип действия растрового электронного микроскопа.
- Виды электронных микроскопов.
- Растровые электронные микроскопы.
- Принцип работы электронного микроскопа.
- Растровый электронный микроскоп
- Принцип действия растрового электронного микроскопа.
- Виды электронных микроскопов:
- 4.3.5. Растровые электронные микроскопы.