logo
Встраиваемый двухсекционный анализатор масс ионов компонентного состава плазмы для установки ПР-2

Введение

Для исследований в области физики плазмы на линейных симуляторах важно контролировать ионный состав плазмы разряда, а также необходимо контролировать состав примесей. Исходя из оценочных соображений были выделены три группы регистрируемых ионов, для каждой из которых необходим свой регистрационный подход.

Первая группа - это легкие ионы водорода, дейтерия, гелия, т.е. диапазон масс от 1 до 6.

Вторая группа - это ионы средних масс, разнообразные углеводороды (С+, СH+, CH3+,CH2+, CH4+, СO+, С2H2+ и др.), ионы кислорода, азота, т.е. необходимо регистрировать диапазон масс от 9-10 до 45.

Третья группа - это тяжелые ионы распыленного образца. В настоящее время появилась необходимость регистрации вольфрама. Стояла задача разрешать пик в области 184 массы.

Для каждой группы разрабатывался свой отдельный сегмент анализатора, все вместе они представляют собой единый комбинированный прибор, позволяющий работать в широком диапазоне масс.